半导体工业的废气怎么样处理

　 半导体工业的废气怎么样处理 　　半导体指的是在常温下导电性能介于导体与***缘体之间的一种材料，主要应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、***功率电源转换等***域，在半导体工业加工的过程中将会有部分的气体排出，那半导体工业的废气有毒吗，如何处理***? 　　半导体工业在加工的过程中会使用到光刻胶、蚀刻液、清洗剂、显影剂等溶剂，而这些溶剂是含有***量的有机物成分，排放出来的废气含有HCl、氨、HF等危险污染物，而主要处理的是具有挥发性的VOCs。 　　温馨提示：VOCs污染物为有机化合物，在浓度较高且有火花或静电情况下，极易发生闪爆现象。 　　半导体在制造过程中一般的污染源包括颗粒污染物、金属离子和化学物质等，而这些都是属于有害的污染物。 　　半导体废气处理方法根据工业废气成分进行废气处理机械装备的选择： 　　沸石转轮吸附浓缩装置：主要用于有机废气的治理， ***别适合于***风量，低浓度场合; 　　喷淋塔：对于含有酸性/碱性物质的废气 ，半导体厂封闭车间***都采用***型卧式洗涤塔进行废气处理。 　　TO直燃炉(催化燃烧装置)：对***风量、低浓度的VOCs废气，TO直燃炉一般会搭配沸石转轮使用。 　　半导体工业废气是具有毒性的，不同的工业采用的工艺原材料不同，因此采用的废气处理机械装备以及工艺都是不一样的，具体的处理方案可咨询宏森环境的在线工程师。